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· 构建工艺模型;
· 产品定义;
· 每个产品可以和一个或多个不同工艺流程相关联;
· 支持子产品的定义,子产品可有不同的工艺流程;
· 精确定义各个工艺流程;
· 精确定义各个工序;
· 精确定义各个工步所需执行的操作;
· 精确定义各工步所需记录的数据;
· 定义加工时需要的工艺参数,工艺参数的定义可以与工步、工序、工艺流程、产品、设备中任意一个或多个相关;
· 工艺参数是一个逻辑概念,可以是一个真正的设备程序号(此时的工艺参数必定和设备相关);也可以是一个工艺参数文件(连接到文件服务器,操作工可以查看);也可以只是一个操作提示;
· 定义各工步的特殊信息;
· 定义进站时间限制和生产时间;
· 允许用户定义在工步上制造批次所使用的设备或设备组;
· 定义工艺流程,工序,工步,和数据采集,有版本控制,可以指定每个版本的生效时间;版本只有在生效后,才能被生产线上的批次所使用;
· 定义工艺过程中的Layer层号,Stage区域;
· 通过工程变更单(ECN)来激活流程,工序,工步,数据采集等,使之生效,这样就可以用一个工程变更单定义所有的相关功能。工程变更单可以集体冻结或者生效.如果版本无效,系统会通知操作工,由其确定是否终止处理;
· 工程变更单可以设置工程变更单的生效批准流程,指定哪些用户拥有批准工程变更单的权利。只有相关的有权限的用户才能看到需要批准生效的工程变更单;
· 工艺流程支持重载的概念.这就可以在用户优先选择的基础上设置不同层次的工艺要求,参数集.对象可以对每一个数据集进行定义。
《 工艺流程结构图》
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